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LINXON LCMO25電容膜片真空計
技術(shù)參數(shù)
測量范圍:滿量程為 1 至 1000 托1。
精度:未明確指出,但具有高精度測量的特點(diǎn),可滿足一般工業(yè)和科研中的真空壓力測量需求1。
穩(wěn)定性:具有長期信號穩(wěn)定性,能在長時間使用過程中保持測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性1。
響應(yīng)速度:電源接通后可快速穩(wěn)定,暴露于大氣后能快速恢復(fù)測量,可快速準(zhǔn)確地反映壓力變化1。
先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備:采用先進(jìn)的數(shù)字電子技術(shù),不僅提高了壓力計的性能,還具備易于操作的特點(diǎn),如一鍵調(diào)零功能,方便用戶在使用過程中快速校準(zhǔn)1。
耐腐蝕陶瓷傳感器:其超純陶瓷傳感器具有耐腐蝕的特性,可延長傳感器的使用壽命,同時提供了出色的零穩(wěn)定性,即使經(jīng)過數(shù)百萬次的壓力循環(huán),包括暴露在大氣中的突發(fā)情況,仍能保持良好的性能1。
傳感器屏蔽:傳感器屏蔽設(shè)計可以保護(hù)壓力計免受工藝污染,確保測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,使其適用于各種復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境。
堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子技術(shù):兩者的結(jié)合提高了電磁兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償能力,使其在不同的工作環(huán)境和溫度條件下都能穩(wěn)定工作,減少了因環(huán)境因素導(dǎo)致的測量誤差。
其他特點(diǎn):具備寬范圍電源,可適應(yīng)多種電源輸入;帶有 RS232 接口,方便與其他設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸和通信;符合無塵室使用標(biāo)準(zhǔn),可在對清潔度要求較高的環(huán)境中使用1。
安裝:根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場景和測量需求,選擇合適的安裝位置和連接方式,確保壓力計與被測系統(tǒng)之間的連接緊密、無泄漏。通??蛇x擇 KF 或 CF 等標(biāo)準(zhǔn)真空連接接口進(jìn)行安裝。
連接電源和通信接口:將壓力計的電源線連接到合適的電源上,確保電源電壓符合壓力計的要求。同時,如需要與外部設(shè)備進(jìn)行通信,可將 RS232 接口與相應(yīng)的設(shè)備連接好。
校準(zhǔn):在使用或長時間使用后,可能需要進(jìn)行校準(zhǔn)。可使用已知標(biāo)準(zhǔn)壓力的校準(zhǔn)設(shè)備,按照操作手冊中的步驟進(jìn)行校準(zhǔn),通??赏ㄟ^一鍵調(diào)零功能和其他校準(zhǔn)設(shè)置來調(diào)整壓力計的測量精度。
測量與數(shù)據(jù)記錄:安裝和校準(zhǔn)完成后,打開電源,壓力計將自動進(jìn)行初始化和自檢,待穩(wěn)定后即可開始測量。在測量過程中,可根據(jù)需要定期記錄測量數(shù)據(jù),如需實(shí)時傳輸數(shù)據(jù)至其他設(shè)備進(jìn)行分析和處理,可通過 RS232 接口實(shí)現(xiàn)。
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體芯片制造過程中,對真空環(huán)境的精確控制和測量至關(guān)重要,如化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、離子注入等工藝都需要高精度的壓力測量,LINXON LCM 025 電容壓力計可提供準(zhǔn)確的壓力測量數(shù)據(jù),確保工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
真空鍍膜:用于光學(xué)薄膜、電子薄膜等真空鍍膜設(shè)備中,準(zhǔn)確測量鍍膜過程中的真空壓力,有助于控制鍍膜的厚度、均勻性和質(zhì)量,提高鍍膜產(chǎn)品的性能和可靠性。
科研實(shí)驗(yàn):在物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域的科研實(shí)驗(yàn)中,常常需要對真空系統(tǒng)中的壓力進(jìn)行精確測量和控制,如在高真空實(shí)驗(yàn)、低溫物理實(shí)驗(yàn)、表面科學(xué)研究等方面,該壓力計可滿足實(shí)驗(yàn)對真空壓力測量的高精度要求。
工業(yè)真空設(shè)備:在各種工業(yè)真空設(shè)備中,如真空干燥設(shè)備、真空包裝設(shè)備、真空冶煉設(shè)備等,可實(shí)時監(jiān)測設(shè)備內(nèi)部的真空壓力,確保設(shè)備的正常運(yùn)行和生產(chǎn)效率。
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