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簡(jiǎn)要描述:C系列質(zhì)量流量控制器(MFC)是緊湊且快速響應(yīng)型,用于非腐蝕性氣體,流量從50SCCM至50SLM,范圍從滿(mǎn)量程0.1%至??刂品绞接?至5VDC模擬和RS485,所需電源電壓為24VDC。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細(xì)介紹
產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 加工定制 | 否 |
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質(zhì)保 | 1年 |
C系列質(zhì)量流量控制器
C系列質(zhì)量流量控制器(MFC)是緊湊且快速響應(yīng)型,用于非腐蝕性氣體,流量從50SCCM至50SLM,范圍從滿(mǎn)量程0.1%至??刂品绞接?至5VDC模擬和RS485,所需電源電壓為24VDC。
C系列質(zhì)量流量計(jì)尺寸為:長(zhǎng)5.02英寸(127.5mm) ,寬1英寸(25.4mm),高4.33英寸(109.98mm),氣路轉(zhuǎn)接,下載版本及可用。
MEMS低熱式質(zhì)量傳感器提供快速檢測(cè)流量變化和低噪聲輸出,傳感器的固態(tài)設(shè)計(jì)使其能抵抗水凝結(jié)粒子,壓力沖擊和振動(dòng)。
快速響應(yīng),寬動(dòng)態(tài)控制范圍,1%精度,在無(wú)腐蝕性工藝應(yīng)用中的佳選擇。用于質(zhì)譜、真空鍍膜、生物反應(yīng)及多種應(yīng)用。
C系列融合了快速反應(yīng)的電磁控制閥與流量傳感器,通過(guò)MFC優(yōu)化流量耦合信號(hào)處理與控制算法,使得響應(yīng)時(shí)間小于100毫秒。
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