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產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 真空規(guī)管及顯示儀表 > 瑞士INFICON真空計
INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是快速、高度準(zhǔn)確的真空測量儀器。響應(yīng)時間不到 2 ms，配備 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口，開拓了全新的應(yīng)用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲傳感器屏蔽，用于保護(hù)真空計，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stri
INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 和 CDG200D 真空計溫度分別控制在160 °C 和 200 °C，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。
INFICON 皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計 （PSG55x） 與其兄弟產(chǎn)品 PCG55x 和 PSG50x 相似，采用xian jin的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。堅固的傳感器設(shè)計結(jié)合緊湊的外形和眾多功能，使其成為從低真空度到高真空度范圍測量的理想產(chǎn)品。 皮拉尼真空計系列 PSG550 / PSG552 / PSG554 可直接替代 TTR 911 / TTR 916 系列：
INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓（1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓）范圍內(nèi)的壓力。HPG400 提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量，實現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復(fù)合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓）。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。為負(fù)擔(dān)不重且可重復(fù)的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S，以經(jīng)濟(jì)高效的方式執(zhí)行基本壓力測量。
CDG100D 真空計溫度控制在 100 °C，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。
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